ZL-26D/M型氦质谱检漏仪是一种“正流原理”的氦质谱检漏仪，符合准：GB/T 13979-2008 ，除用喷氦作喷氦法(负压法)检漏外，也可用吸作吸氦法(正压法)检漏，仪器性高。仪器采用计算机程序控制，通过触摸式显示屏按人机对话方式进行功能操作，具有自动寻峰、程序控制、大字符漏率显示，漏率直读，四种常用漏率单位转换，检漏存储、析、统计及打印等功能，具备高度的智能化程度。。
主要技术参数：
仪器的启动时间： 不大于5min
小可检漏率：优于5×10-12Pa.m3/s(负压法/喷He)
反应时间： 不大于3s（相对仪器测试口）
质谱室允许工作的高压强：1×10-2Pa
测试口允许工作的高压强：1000Pa
仪器的轮廓尺寸： 640*550*980 mm3
仪器的重量： 约75Kg
主要配置：
1.涡轮子泵 1台
2.前级泵 1台
3.粗抽泵 1台
4.质谱析室 1
5.控制软件(成仪ZL氦质谱检漏仪控制析系统V1.0) 1
6.控制电磁阀 1
7.负压校准漏孔（带计量证书 ） 1支
8.工控计算机（触摸屏） 1台
9．喷、气袋 1
10.吸 1
供电电源：220V±10%，功率约为2kVA
