增强型皮拉尼真空传感器

宽量程:0.01Pa~133kPa,抗冲击和振动

美国Instrutech CVG101系列对流增强型皮拉尼真空传感器,可以配合真空控制器VGC301,B-Rax 3000系列或FlRax 4000系列使用。相对于其他真空计拥有多增强设计,温度补偿功能放置真空规管的外面,消除不必要的部件和焊接,大大提高了性,提供的真空测量,同时降低成本。改进后受机械冲击和振动的影响较小。在入口有一个精细的网筛,有助于防止颗粒物的进入。该表也可以防止射频干扰。比热电偶真空计量程范extClass' contenteditable='false' tabind='-1'>围宽广,度。


应用及


● 大学/研究所 ● 半导体


● extClass' contenteditable='false' tabind='-1'>数据存储 ● 薄膜沉积


● 平板显示 ● extClass' contenteditable='false' tabind='-1'>分析仪器


● 工艺真空 ● 冶金工业


● 真空泵系统


产品特色


● 增强型皮拉尼规


● 宽泛的测量范extClass' contenteditable='false' tabind='-1'>围:0.01Pa~133kPa


● 一个真空计就可以监控您的真空抽气和排气系统


● 可替代Graville-Phillips系列真空传感器使用


● 稳健设计承受多冲击和振动


● 低价位,为您节约成本


● 安装和操作容易




技术指extClass' contenteditable='false' tabind='-1'>标



测量范extClass' contenteditable='false' tabind='-1'>围 1×10 -4 ~1000 Torr


1.3×10 -4 ~1333 mbar


1.3×10 -2 Pa~133 kPa


extClass' contenteditable='false' tabind='-1'>(N2,典型) 10 -4 ~10 -3 Torr;0.1 mTorrextClass' contenteditable='false' tabind='-1'>分辨率


10 -3 ~400 Torr;±10%读数


400~1000 Torr;±2.5%读数


重 复 性 ±2%读数


工作温度 0~50℃


烘烤温度 150℃(于表,电子元件移除)


工作湿度 0~95%RH,非冷凝


安装方向 水平(1 Torr以extClass' contenteditable='false' tabind='-1'>下安装方式无影响)


接液材质 镀金钨,304 和316 不锈钢,玻璃,镍,特氟龙


内部容积 26 cm 3 (1.589 in 3)


内部表面面积 59.7 cm 2(9.25 in 2)


泄 漏 率 <1×10 -9 atm cc/sec He


重 量 85 g(3 oz)


RF/EMI CE


环境 RoH

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