磁控溅射仪 （不含泵） 型号:SC-SU-I 库号：D264255
参数 指标
石英仓尺寸 150X120MM
样品台尺寸 70mm
溅射面积 50mm
高真空度 5pa
可通气体 氩气，氮气等惰性气体
高溅射速度 8nm/min
整机功率 200W
机器尺寸 360(W)X310(D)X150mm(H)
参数 指标
石英仓尺寸 150X120MM
样品台尺寸 70mm
溅射面积 50mm
高真空度 5pa
可通气体 氩气，氮气等惰性气体
高溅射速度 8nm/min
整机功率 200W
机器尺寸 360(W)X310(D)X150mm(H)
参数 指标
石英仓尺寸 150X120MM
样品台尺寸 70mm
溅射面积 50mm
高真空度 5pa
可通气体 氩气，氮气等惰性气体
高溅射速度 8nm/min
整机功率 200W
机器尺寸 360(W)X310(D)X150mm(H)
