四探针测试仪（手动带软件） 型号:RTS-8 库号：D406398
技 术 指 标 ：
测量范围
电阻率：10-5～105 Ω.cm(可扩展)；
方块电阻：10-4～106 Ω/□(可扩展)；
电导率：10-5～105 s/cm；
电阻：10-5～105 Ω；
可测晶片直径
140mmX150mm(配S-2A型测试台)；
200mmX200mm(配S-2B型测试台)；
400mmX500mm(配S-2C型测试台)；
恒流源
电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调
数字电压表
量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
输入阻抗：>1000MΩ；
：±0.1% ；
显示：四位半红色发光管数字显示；极性、量程自动显示；
四探针探头基本指标
间距：1±0.01mm；
针间绝缘电阻：≥1000MΩ；
机械游移率：≤0.3%；
探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；
探针压力：5～16 牛顿(总力)；
四探针探头应用参数
(见探头附带的合格证)
模拟电阻测量相对
( 按JJG508-87进行)
0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
整机测量大相对
(用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5%
整机测量标准不确定度
≤5%
