数字式压力控制器/压力计 型号:DFHB-409719 库号:D409719 

为直通式设计,测量范围从100KPa到10MPA(绝压和表压皆可)。此外,还提供差压变送器。该系列仪表度高、重复性好,分为前压控制和背压控制两种。

是处于硅芯片表面的压敏电阻桥。该芯片从其背面钻出,给芯片内部形成压力隔膜,其厚度决定压力范围。当压力作用于芯片时,压膜弯曲,电阻桥的电阻值与压力成比例地变化。测量元件通过薄灵敏的不锈钢隔膜与外部压力隔开,隔膜和测量元件之间的密封腔充满了油。

可装配一体式控制阀或分体式控制阀。它是一种比例式电磁控制阀,具有快和平稳控制的特性。我们有不同系列的控制阀对应特定的应用领域。常规应用使用标准的直接操控阀,高流速应用使用先导阀。

应用领域:半导体工艺,气相和液相色谱仪,MOCVD过程中蒸汽压力控制,挤塑成型过程中气体压力保护控制,高压釜/反应釜压力控制等。

参数

压力计

(包括线性和滞后性)± 0.5% F.S

压力量程比压力计1:100

重复性± 0.1% F.S

传感器响应时间0.2s

控制稳定性≤±0.05% F.S(测定条件:1 L/min N2)

运行温度-10~+70℃

温度敏感性0.1%F.S/℃

漏率1×10 Pa m3/S

方位影响度(90°变化)

<0.03KPa(绝压/表压传感器)

<0.6KPa (差压传感器)

预热时间忽略不计

压力控制器1:50

数字式压力控制器/压力计(东方化玻)DFHB-409719